한성호박사 표면처리 연구소

어느 업체 사장님이 전화로 800 ℃ 고온에서 전기가 통하는 세라믹 코팅을 할 수 있느냐고 문의 전화가 왔습니다. 자세한 용도는 이야기 하지 않으면서 기술적인 문의를 하는 경우 대답하기가 참 난감합니다. 그래서 세라믹 코팅은 원래 전기가 통할 수 없는 재질이라고 대답했습니다. 그렇지만 세라믹 상에 금속을 도금을 하면 전기가 통하는 코팅을 할 수 있다고 했습니다. 질문을 하시는 분은 내용을 다 알고 질문을 하지만 어느 제품이나 재질 형상에 대해 자세하게 설명해주지 않으면, 기술 문의에 대답을 하기가 참 어렵습니다. 이 전화를 끊고 나서 갑자기 제가 실험한 선택 초경질 경화처리 기술이 생각났습니다. 제 블로그의 앞부분 에서도 여러 번 소개했지만 여러 종류의 특수강 표면 선택 경화처리를 지금까지 개발해 왔습니..

얼마 전에 LG화학과 삼성SDI에 배터리 충방전기 제조 납품하는 회사에서 퇴사하여 새로운 회사를 만드신 분이 직교류 중첩 정류기를 양극산화용 정류기로 사용하는 것에 대해 질의를 하는 메일이 왔습니다. 그래서 현재 영업 중인 표면처리용 정류기 업체를 소개해 주었습니다. 저는 1977년 직교류 중첩 정류기를 사용하여 피막처리 실험을 하여 그 결과를 미국의 유명 저널인 Journal of material science에 주 저자로 논문을 발표하였습니다. 43 년 전에 직교류 중첩 정류기를 만들어 실험을 하여 좋은 결과를 얻었던 것입니다. 그때 사용된 정류기의 파형을 아래 사진에 첨부하였습니다. 그 이후 특수 도금 분야에도 적용해서 특이한 결과를 얻어서 해외 논문을 발표하기도 했습니다. 그러던 차에 1980 년..

얼마 전에 펠리클을 만드는 회사에서 저를 찾아 왔습니다. 반도체 제품의 포토 마스크의 수율을 향상시키기 위해서 사용하는 펠리클은 마스크(Mask)와 레티클(Reticle)표면을 대기중 분자나 다른 형태의 오염으로부터 보호해 주는 박막입니다 . 이러한 박막은 양극 산화된 알루미늄 프레임에 부착된 후 다시 레티클 위에 단단히 부착되어 집니다. 일반적으로 펠리클은 반도체 노광장비, 프로젝션 얼라이너(Projection Aligner)에서는 레티클의 한쪽 크롬(Cr)면에, 스텝퍼(Stepper)에서는 레티클의 크롬면과 유리면 양쪽에 부착되어 웨이퍼 이미지에 영향을 주지 않도록 합니다. 펠리클 제조에 핵심기술 중의 하나는 알루미늄 프레임과 보호 박막이 강하게 접착될 수 있도록 하는 알루미늄 프레임 상의 전처리 기..