한성호박사 표면처리 연구소

얼마 전에 펠리클을 만드는 회사에서 저를 찾아 왔습니다. 반도체 제품의 포토 마스크의 수율을 향상시키기 위해서 사용하는 펠리클은 마스크(Mask)와 레티클(Reticle)표면을 대기중 분자나 다른 형태의 오염으로부터 보호해 주는 박막입니다 . 이러한 박막은 양극 산화된 알루미늄 프레임에 부착된 후 다시 레티클 위에 단단히 부착되어 집니다. 일반적으로 펠리클은 반도체 노광장비, 프로젝션 얼라이너(Projection Aligner)에서는 레티클의 한쪽 크롬(Cr)면에, 스텝퍼(Stepper)에서는 레티클의 크롬면과 유리면 양쪽에 부착되어 웨이퍼 이미지에 영향을 주지 않도록 합니다. 펠리클 제조에 핵심기술 중의 하나는 알루미늄 프레임과 보호 박막이 강하게 접착될 수 있도록 하는 알루미늄 프레임 상의 전처리 기..

2014년 9월 경에 제 블로그를 보시고, 지방에서 알루미늄 부품 가공업체로부터 절삭 칩을 수거해서, 칩에 묻어있는 수용성 절삭유를 물로 씻어내고, 세척된 절삭 칩을 알루미늄 용해하는 업체에 절삭칩을 납품하는 중년의 사장님이 저를 꼭 만나서 상의를 해야 될 일이 있다고 메일을 보내셨습니다. 일반적으로 제블로그에 관심이 있으신 분들이 현장 책임자나 기술자(상무, 공장장, 부장, 과장, 연구소장 등)들입니다. 이분들의 질문에는 제가 답을 잘하지 않습니다. 그이유는 단지 기술에 대한 호기심으로 공짜로 어떻게 알 수 없을까 하는 요령을 부리는 사람들이 많기 때문입니다. 그러나 문의를 하시는 분이 사장님인 경우는 일단 경청을 하게됩니다. 이번에 만나기를 제안한 사장님의 경우에도 제 블로그의 “몸에 유용한 무기물로..

앞에서 초고속 폐수처리를 무기물로 하는 것에 대해 이야기 했었습니다. 그리고 3년의 각고 끝에 4가지의 배합 조성물을 개발 했다는 것도 이야기 했었습니다. 오늘은 4가지 중 하나인 인체에 무해한 무기 배합 조성물을 소개하겠습니다.최근에 나와 가까운 금형 사출 하시는 사장님이 나에게 전화해서 등산을 하다가 조난을 당했을 때 먹는 물은 떨어졌고, 주위에 흙탕물이나 더러운 물 밖에 없을 때, 이것을 간단하고 신속하게 pH도 중화하고 더러운 물도 맑게 하는 사람 힘으로 작동하여 먹을 수 있는 방법으로 가격이 아주 싼 부피가 작은 장치나 관련되는 부품이 있으면 대박이 난다고 연구를 부탁 하는 요청을 받았습니다. 이러한 요청을 하면서 집에서 쓰는 정수기를 소형화 할 수 있는 방법은 없는지도 물어보고 했습니다. 집에..

1995 년경 우연히 TV 뉴스를 보다가 일본에서 폐수처리의 획기적인 기술이 개발되었다는 프로그램이 방영된 적이 있었습니다. 실제로 효과를 방영하는 내용 중에 비이커에 물이 아주 더러웠는데 분말을 조금 넣어서 막대기로 저어주니까 더러운 용해되 있는 것들이 덩어리 지면서 가라 앉고 맑은 물로 변해버리는 것입니다. 저는 깜짝 놀랐습니다. 그 당시에 친척 중에 한분이 쓰레기 처리업을 하였는데 그곳에 방문 할 때마다 음식물 쓰레기에서 흘러나오는 폐수가 여름에는 너무 독하고 냄새가 심해서 작업자들이 힘들어하는 것을 보았습니다. 쓰레기차 운반 중에도 길에 폐수가 흘러서 민원이 심하다고 이것을 냄새 안 나고 쉽게 폐수처리 하는 방법이 없느냐고 기술 개발을 부탁하곤 했습니다. 그런데 참 우연히 제가 기술지도 하던 회사..

얼마 전에 펠리클을 만드는 회사에서 저를 찾아 왔습니다. 반도체 제품의 포토 마스크의 수율을 향상시키기 위해서 사용하는 펠리클은 마스크(Mask)와 레티클(Reticle)표면을 대기중 분자나 다른 형태의 오염으로부터 보호해 주는 박막입니다 . 이러한 박막은 양극 산화된 알루미늄 프레임에 부착된 후 다시 레티클 위에 단단히 부착되어 집니다. 일반적으로 펠리클은 반도체 노광장비, 프로젝션 얼라이너(Projection Aligner)에서는 레티클의 한쪽 크롬(Cr)면에, 스텝퍼(Stepper)에서는 레티클의 크롬면과 유리면 양쪽에 부착되어 웨이퍼 이미지에 영향을 주지 않도록 합니다. 펠리클 제조에 핵심기술 중의 하나는 알루미늄 프레임과 보호 박막이 강하게 접착될 수 있도록 하는 알루미늄 프레임 상의 전처리 기..